BMT827 bmtm 3 V 1 U 4 8 ja Deutsch Klausur BMT827 Biomedizinische Technik 8 Pflichtfach Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtaufwand des Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden (30 Stunden/ECTS Punkt). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung. Prof. Dr. Klaus-Peter Hoffmann kph Prof. Dr. Wenmin Qu wqu Die Studierenden haben ein grundlegendes Verständnis von häufig verwendeten Technologien in der Mikrosystemtechnik. Sie können die jeweiligen Vor- u. Nachteile benennen und kennen typische Lösungsansätze. Die Herstellung und Funktionsweise typischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik ist ihnen bekannt. 1. Einführung Märkte und Anwendungen der Mikrosystemtechnik 2. Übersicht über Mikrotechnologien 2.1 Lithographie 2.2 Schichttechniken 2.3 Volumen- und Oberflächenmikromechanik 2.4 LIGA-Technik 3. Betrachtung ausgewählter Fertigungsprozesse 3.1 Reinraumtechnik und Verhalten im Reinraum 3.2 Lithografie 3.3 Dünnschichtverfahren 3.4 Dotierverfahren 3.5 Ätztechniken 4. Betrachtung ausgewählter Anwendungsfelder und Produkte: 4.1 Mikrosensorik 4.1.1 Drucksensor 4.1.2 Beschleunigungssensor 4.1.3 Drehratensensor 4.2 Mikroaktorik 4.2.1 Tintenstrahldruckkopf 4.2.2 Spiegelchips für DLP Fachbücher: ♦ A. Heuberger (Hrsg.), Mikromechanik, Springer Verlag, Berlin (1991), ISBN 3-540-18721-9, Preis: ca. € 135. ♦ S. Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner Verlag, Stuttgart (1994), ISBN: 3-519-13071-8, Preis: € 17. ♦ U. Mescheder, Mikrosystemtechnik: Konzept und Anwendungen, Teubner-Verlag, Stuttgart (2000), ISBN 3-519-06256-9, Preis: € 39,90. ♦ G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag, München (1997), ISBN 3-446-18395-7, Preis: € 24,90. ♦ M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Boca Raton (1997), ISBN: 0-8493-9451-1, Preis: ca. € 100. Fachzeitschriften: Sensors and Actuators Journal of Micromechanics and Microengineering Journal of Microelectromechanical Systems Journal of the Electrochemical Society IEEE Transactions on Electronic Devices Sat Aug 15 11:53:31 CEST 2026, CKEY=btdma, BKEY=bmtm, CID=[?], LANGUAGE=de, DATE=15.08.2026