MST.PMT yst 2 V 2 PA 5 0 nein Deutsch Klausur MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik 0 Wahlpflichtfach MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik 0 Wahlpflichtfach MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik 0 Wahlpflichtfach MST.PMT Mechatronik/Sensortechnik 0 Wahlpflichtfach Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtaufwand des Moduls beträgt bei 5 Creditpoints 150 Stunden (30 Stunden/ECTS Punkt). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 105 Stunden zur Verfügung. MST.MEO Physik I (Mechanik, Elektrizität, Optik) MST.WEW Werkstoffwissenschaften Prof. Dr. Günter Schultes gs N.N. nn Die Vorlesung soll Antworten auf folgende Fragen geben: Welche Technologien und Materialien werden in der MST eingesetzt? Wie werden diese Technologien zur Erzeugung von miniaturisierten Bauelementen verwendet? Wo sind die technologischen Grenzen und Problemen der einzelnen Techniken? Materialien in der Mikrosystemtechnik Schichtaufbau / Schichtabscheidung / Schichtmodifikation – Oxidation / CVD / PVD / Dotieren – Galvanik / Spin Coating – Metallisierungssysteme Strukturieren dünner Schichten – Lithografie – Ätzen (nasschemisch, trocken) Spezielle Verfahren der Mikrosystemtechnik – Tiefenätztechnik (nasschemisch, trocken) – Poröses Silizium – Fullwafer-Bonden (Anodisch, Silicon Direct Bonding, etc.) Gesamtprozesse – Bulk Mikromechanik – Oberflächen Mikromechanik – LIGA – Polymere – Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) M. Madou: Fundamentals of Microfabrication CRC Press, Boca Raton (1997) ISBN: 0-8493-9451-1 Preis: ca. € 99,70 W. Menz, J. Mohr: Mikrosystemtechnik für Ingenieure VCH, Weinheim (1997) ISBN: 3-527-294055-8 Preis: € 75,-- S. Büttgenbach: Mikromechanik Teubner Verlag, Stuttgart (1994) ISBN: 3-519-13071-8 Preis: € 17,-- Tue May 12 10:56:19 CEST 2026, CKEY=ypdm, BKEY=yst, CID=[?], LANGUAGE=de, DATE=12.05.2026