Mikro- und Nanotechnologie
MST.MNA
ystm
2
SU
3
0
nein
Deutsch
Mündliche Prüfung
MTM.MNA
Mechatronik
0
Wahlpflichtfach
MST.MNA
Mechatronik/Sensortechnik
0
Wahlpflichtfach
MST.MNA
Mechatronik/Sensortechnik
0
Wahlpflichtfach
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 30 Veranstaltungsstunden (= 22.5 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 3 Creditpoints 90 Stunden (30 Stunden/ECTS Punkt). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 67.5 Stunden zur Verfügung.
Prof. Dr.-Ing. John Heppe
jhp
Prof. Dr.-Ing. John Heppe
jhp
Die Studierenden erhalten einen Einblick in die Mikro- und Nanotechnologien. Dazu werden Sensoren, die mit solchen Technologien gefertigt werden vorgestellt und besprochen. Die Wirkungsweise der Sensoren wird erarbeitet und Aufgaben zur Lernkonrolle werden gestellt. Dabei wird an bereits vermittelte Kenntnisse aus dem Bereich der technischen Mechanik und der Elektronik angeknüpft.
Die Studierenden werden somit in die Lager versetzt solche Produkte einzusetzen und deren Wirkungsweise zu verstehen. Ein Besuch bei einer einschlägigen Herstellerfirma rundet die Lehrveranstaltung ab.
1. Einleitung und ein erstes Anwendungsbeispiel
- Warum ist „Mikro“ anders ?
2. Mikromechanische Drucksensoren aus Silizium
- Funktionsprinzip und Ausführungen
3. Komplexe Mikrosysteme: Beschleunigungs- und Drehratensensoren
- Physikalische Funktionsprinzipien und Ausführungen
- Messtechnik
4. Notwendige Technologien zur Herstellung von Mikrostrukturen
- Silizium-Wafer, Thermische Oxidation
- Schichttechnologien, PVD und CVD
- Strukturierungsverfahren und Ätzprozesse
- Vakuumtechnik
5. Nanotechnologie am Beispiel
- Nanoskalige Metall-Matrixschichten (granulare Metalle) in der Sensorik, Beispiele aus der eigenen Forschung
- Laserfeinstbearbeitung mit Ultrakurzzeitlasern
Seminaristischer Stil.
Vortrag mit teilweisem Tafelanschrieb.
Präsentationen.
Übungsaufgaben zur Lernkontrolle.
- F. Völklein, T. Zetterer; Praxiswissen Mikrosystemtechnik, Vieweg Verlag
- T.M. Adams, R.A. Layton, Introductory MEMS, Springer Verlag
- Bosch, Sensoren im Kraftfahrzeug, Springer Verlag
- M. Glück, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag
- U. Hilleringmann, Mikrosystemtechnik, Teubner Verlag
- U. Hilleringmann, Silizium Halbleitertechnologie, Teubner Verlag
- U. Mescheder, Mikrosytemtechnik, Teubner Verlag
- M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press
Fri Mar 29 12:03:21 CET 2024, CKEY=ymun, BKEY=ystm, CID=[?], LANGUAGE=de, DATE=29.03.2024