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Technologien der Mikrosystemtechnik

Modulbezeichnung:
Bezeichnung des Moduls innerhalb des Studiengangs. Sie soll eine präzise und verständliche Überschrift des Modulinhalts darstellen.
Technologien der Mikrosystemtechnik
Modulbezeichnung (engl.): Microsystems Technologies
Studiengang:
Studiengang mit Beginn der Gültigkeit der betreffenden ASPO-Anlage/Studienordnung des Studiengangs, in dem dieses Modul zum Studienprogramm gehört (=Start der ersten Erstsemester-Kohorte, die nach dieser Ordnung studiert).
Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014
Code: BMT1823
SAP-Submodul-Nr.:
Die Prüfungsverwaltung mittels SAP-SLCM vergibt für jede Prüfungsart in einem Modul eine SAP-Submodul-Nr (= P-Nummer). Gleiche Module in unterschiedlichen Studiengängen haben bei gleicher Prüfungsart die gleiche SAP-Submodul-Nr..
P213-0121
SWS/Lehrform:
Die Anzahl der Semesterwochenstunden (SWS) wird als Zusammensetzung von Vorlesungsstunden (V), Übungsstunden (U), Praktikumsstunden (P) oder Projektarbeitsstunden (PA) angegeben. Beispielsweise besteht eine Veranstaltung der Form 2V+2U aus 2 Vorlesungsstunden und 2 Übungsstunden pro Woche.
3V+1U (4 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte:
Die Anzahl der Punkte nach ECTS (Leistungspunkte, Kreditpunkte), die dem Studierenden bei erfolgreicher Ableistung des Moduls gutgeschrieben werden. Die ECTS-Punkte entscheiden über die Gewichtung des Fachs bei der Berechnung der Durchschnittsnote im Abschlusszeugnis. Jedem ECTS-Punkt entsprechen 30 studentische Arbeitsstunden (Anwesenheit, Vor- und Nachbereitung, Prüfungsvorbereitung, ggfs. Zeit zur Bearbeitung eines Projekts), verteilt über die gesamte Zeit des Semesters (26 Wochen).
4
Studiensemester: 1
Pflichtfach: ja
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:
Klausur

[letzte Änderung 06.11.2013]
Verwendbarkeit / Zuordnung zum Curriculum:
Alle Studienprogramme, die das Modul enthalten mit Jahresangabe der entsprechenden Studienordnung / ASPO-Anlage.

BMT1823 (P213-0121) Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014 , 1. Semester, Pflichtfach
Arbeitsaufwand:
Der Arbeitsaufwand des Studierenden, der für das erfolgreiche Absolvieren eines Moduls notwendig ist, ergibt sich aus den ECTS-Punkten. Jeder ECTS-Punkt steht in der Regel für 30 Arbeitsstunden. Die Arbeitsstunden umfassen Präsenzzeit (in den Vorlesungswochen), Vor- und Nachbereitung der Vorlesung, ggfs. Abfassung einer Projektarbeit und die Vorbereitung auf die Prüfung.

Die ECTS beziehen sich auf die gesamte formale Semesterdauer (01.04.-30.09. im Sommersemester, 01.10.-31.03. im Wintersemester).
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
Keine.
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
BMT1923 Neuroprothesen


[letzte Änderung 10.11.2013]
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Wenmin Qu
Dozent/innen:
Prof. Dr. Wenmin Qu


[letzte Änderung 10.11.2013]
Lernziele:
Die Studierenden haben ein grundlegendes Verständnis von häufig verwendeten Technologien in der Mikrosystemtechnik. Sie können die jeweiligen Vor- u. Nachteile benennen und kennen typische Lösungsansätze. Die Herstellung und Funktionsweise typischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik ist ihnen bekannt.

[letzte Änderung 10.11.2013]
Inhalt:
1. Einführung Märkte und Anwendungen der Mikrosystemtechnik
2. Übersicht über Mikrotechnologien
2.1 Lithographie
2.2 Schichttechniken
2.3 Volumen- und Oberflächenmikromechanik
2.4 LIGA-Technik
3. Betrachtung ausgewählter Fertigungsprozesse
3.1 Reinraumtechnik und Verhalten im Reinraum
3.2 Lithografie
3.3 Dünnschichtverfahren
3.4 Dotierverfahren
3.5 Ätztechniken
4. Betrachtung ausgewählter Anwendungsfelder und Produkte:
4.1 Mikrosensorik
4.1.1 Drucksensor
4.1.2 Beschleunigungssensor
4.1.3 Drehratensensor
4.2 Mikroaktorik
4.2.1 Tintenstrahldruckkopf
4.2.2 Spiegelchips für DLP

[letzte Änderung 10.11.2013]
Weitere Lehrmethoden und Medien:
Vorlesung als PowerPoint Präsentation mit eingebauten Videosequenzen, insbesondere im Bereich ausgewählter Fertigungsprozesse und Bauelemente.

[letzte Änderung 10.11.2013]
Literatur:
Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Teubner, Stuttgart, 1994, ISBN 3-519-13071-8
Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser, München, 1997, ISBN 3-446-18395-7
Heuberger, A. (Hrsg.): Mikromechanik, Springer, Berlin, 1991, ISBN 3-540-18721-9
Madou, M.: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997, ISBN 0-8493-9451-1
Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen, Vieweg+Teubner

[letzte Änderung 10.11.2013]
 
[Sun Jul  6 02:35:31 CEST 2025, CKEY=btdmb, BKEY=bmtm2, CID=BMT1823, LANGUAGE=de, DATE=06.07.2025]