| Modulbezeichnung: Technologien der Mikrosystemtechnik |
| Modulbezeichnung (engl.): Microsystems Technologies |
| Studiengang: Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014 |
| Code: BMT1823 |
| SWS/Lehrform: 3V+1U (4 Semesterwochenstunden) |
| ECTS-Punkte: 4 |
| Studiensemester: 1 |
| Pflichtfach: ja |
| Arbeitssprache: Deutsch |
| Prüfungsart: Klausur |
| Zuordnung zum Curriculum: BMT1823 Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2014, 1. Semester, Pflichtfach |
| Arbeitsaufwand: Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung. |
| Empfohlene Voraussetzungen (Module): Keine. |
| Als Vorkenntnis empfohlen für Module: BMT1923 Neuroprothesen [letzte Änderung 10.11.2013] |
| Modulverantwortung: Prof. Dr. Wenmin Qu |
| Dozent: Prof. Dr. Wenmin Qu [letzte Änderung 10.11.2013] |
| Lernziele: Die Studierenden haben ein grundlegendes Verständnis von häufig verwendeten Technologien in der Mikrosystemtechnik. Sie können die jeweiligen Vor- u. Nachteile benennen und kennen typische Lösungsansätze. Die Herstellung und Funktionsweise typischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik ist ihnen bekannt. [letzte Änderung 10.11.2013] |
| Inhalt: 1. Einführung Märkte und Anwendungen der Mikrosystemtechnik 2. Übersicht über Mikrotechnologien 2.1 Lithographie 2.2 Schichttechniken 2.3 Volumen- und Oberflächenmikromechanik 2.4 LIGA-Technik 3. Betrachtung ausgewählter Fertigungsprozesse 3.1 Reinraumtechnik und Verhalten im Reinraum 3.2 Lithografie 3.3 Dünnschichtverfahren 3.4 Dotierverfahren 3.5 Ätztechniken 4. Betrachtung ausgewählter Anwendungsfelder und Produkte: 4.1 Mikrosensorik 4.1.1 Drucksensor 4.1.2 Beschleunigungssensor 4.1.3 Drehratensensor 4.2 Mikroaktorik 4.2.1 Tintenstrahldruckkopf 4.2.2 Spiegelchips für DLP [letzte Änderung 10.11.2013] |
| Lehrmethoden/Medien: Vorlesung als PowerPoint Präsentation mit eingebauten Videosequenzen, insbesondere im Bereich ausgewählter Fertigungsprozesse und Bauelemente. [letzte Änderung 10.11.2013] |
| Literatur: Büttgenbach, S.: Mikromechanik, Teubner, Stuttgart, 1994, ISBN 3-519-13071-8 Gerlach, G.; Dötzel, W.: Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser, München, 1997, ISBN 3-446-18395-7 Heuberger, A. (Hrsg.): Mikromechanik, Springer, Berlin, 1991, ISBN 3-540-18721-9 Madou, M.: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 1997, ISBN 0-8493-9451-1 Mescheder, Ulrich: Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen, Vieweg+Teubner [letzte Änderung 10.11.2013] |
[Sat Feb 27 19:36:25 CET 2021, CKEY=btdmb, BKEY=bmtm2, CID=BMT1823, LANGUAGE=de, DATE=27.02.2021]