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Technologien der Mikrosystemtechnik

Modulbezeichnung:
Bezeichnung des Moduls innerhalb des Studiengangs. Sie soll eine präzise und verständliche Überschrift des Modulinhalts darstellen.
Technologien der Mikrosystemtechnik
Studiengang:
Studiengang mit Beginn der Gültigkeit der betreffenden ASPO-Anlage/Studienordnung des Studiengangs, in dem dieses Modul zum Studienprogramm gehört (=Start der ersten Erstsemester-Kohorte, die nach dieser Ordnung studiert).
Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2011
Code: BMT827
SWS/Lehrform:
Die Anzahl der Semesterwochenstunden (SWS) wird als Zusammensetzung von Vorlesungsstunden (V), Übungsstunden (U), Praktikumsstunden (P) oder Projektarbeitsstunden (PA) angegeben. Beispielsweise besteht eine Veranstaltung der Form 2V+2U aus 2 Vorlesungsstunden und 2 Übungsstunden pro Woche.
3V+1U (4 Semesterwochenstunden)
ECTS-Punkte:
Die Anzahl der Punkte nach ECTS (Leistungspunkte, Kreditpunkte), die dem Studierenden bei erfolgreicher Ableistung des Moduls gutgeschrieben werden. Die ECTS-Punkte entscheiden über die Gewichtung des Fachs bei der Berechnung der Durchschnittsnote im Abschlusszeugnis. Jedem ECTS-Punkt entsprechen 30 studentische Arbeitsstunden (Anwesenheit, Vor- und Nachbereitung, Prüfungsvorbereitung, ggfs. Zeit zur Bearbeitung eines Projekts), verteilt über die gesamte Zeit des Semesters (26 Wochen).
4
Studiensemester: 8
Pflichtfach: ja
Arbeitssprache:
Deutsch
Prüfungsart:
Klausur

[letzte Änderung 07.04.2013]
Verwendbarkeit / Zuordnung zum Curriculum:
Alle Studienprogramme, die das Modul enthalten mit Jahresangabe der entsprechenden Studienordnung / ASPO-Anlage.

BMT827 Biomedizinische Technik, Master, ASPO 01.04.2011 , 8. Semester, Pflichtfach
Arbeitsaufwand:
Der Arbeitsaufwand des Studierenden, der für das erfolgreiche Absolvieren eines Moduls notwendig ist, ergibt sich aus den ECTS-Punkten. Jeder ECTS-Punkt steht in der Regel für 30 Arbeitsstunden. Die Arbeitsstunden umfassen Präsenzzeit (in den Vorlesungswochen), Vor- und Nachbereitung der Vorlesung, ggfs. Abfassung einer Projektarbeit und die Vorbereitung auf die Prüfung.

Die ECTS beziehen sich auf die gesamte formale Semesterdauer (01.04.-30.09. im Sommersemester, 01.10.-31.03. im Wintersemester).
Die Präsenzzeit dieses Moduls umfasst bei 15 Semesterwochen 60 Veranstaltungsstunden (= 45 Zeitstunden). Der Gesamtumfang des Moduls beträgt bei 4 Creditpoints 120 Stunden (30 Std/ECTS). Daher stehen für die Vor- und Nachbereitung der Veranstaltung zusammen mit der Prüfungsvorbereitung 75 Stunden zur Verfügung.
Empfohlene Voraussetzungen (Module):
Keine.
Als Vorkenntnis empfohlen für Module:
Modulverantwortung:
Prof. Dr. Klaus-Peter Hoffmann
Dozent/innen:
Prof. Dr. Wenmin Qu


[letzte Änderung 25.11.2013]
Lernziele:
Die Studierenden haben ein grundlegendes Verständnis von häufig verwendeten Technologien in der Mikrosystemtechnik. Sie können die jeweiligen Vor- u. Nachteile benennen und kennen typische Lösungsansätze. Die Herstellung und Funktionsweise typischer Bauelemente der Mikrosystemtechnik ist ihnen bekannt.


[letzte Änderung 07.04.2013]
Inhalt:
1. Einführung Märkte und Anwendungen der Mikrosystemtechnik
  
2. Übersicht über Mikrotechnologien
 2.1 Lithographie
 2.2 Schichttechniken
 2.3 Volumen- und Oberflächenmikromechanik
 2.4 LIGA-Technik
  
3. Betrachtung ausgewählter Fertigungsprozesse
 3.1 Reinraumtechnik und Verhalten im Reinraum
 3.2 Lithografie
 3.3 Dünnschichtverfahren
 3.4 Dotierverfahren
 3.5 Ätztechniken
  
4. Betrachtung ausgewählter Anwendungsfelder und Produkte:
 4.1 Mikrosensorik
  4.1.1 Drucksensor
  4.1.2 Beschleunigungssensor
  4.1.3 Drehratensensor
 4.2 Mikroaktorik
  4.2.1 Tintenstrahldruckkopf
  4.2.2 Spiegelchips für DLP


[letzte Änderung 07.04.2013]
Literatur:
Fachbücher:
♦ A. Heuberger (Hrsg.), Mikromechanik, Springer Verlag, Berlin (1991), ISBN 3-540-18721-9, Preis: ca. € 135.
♦ S. Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner  Verlag, Stuttgart (1994), ISBN: 3-519-13071-8, Preis: € 17.
♦ U. Mescheder, Mikrosystemtechnik: Konzept und Anwendungen, Teubner-Verlag, Stuttgart (2000), ISBN 3-519-06256-9, Preis: € 39,90.
♦ G. Gerlach, W. Dötzel, Grundlagen der Mikrosystemtechnik, Hanser Verlag, München (1997), ISBN 3-446-18395-7, Preis: € 24,90.
♦ M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Boca Raton (1997), ISBN: 0-8493-9451-1, Preis: ca. € 100.
  
Fachzeitschriften:
Sensors and Actuators
Journal of Micromechanics and Microengineering
Journal of Microelectromechanical Systems
Journal of the Electrochemical Society
IEEE Transactions on Electronic Devices


[letzte Änderung 07.04.2013]
 
[Fri Oct 31 08:43:57 CET 2025, CKEY=btdma, BKEY=bmtm, CID=BMT827, LANGUAGE=de, DATE=31.10.2025]